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當(dāng)前位置：首頁 >產(chǎn)品中心>半導(dǎo)體前處理>安賽斯勻膠機(jī)/旋涂儀>HC160PE精密勻膠機(jī)
簡要描述：HC160PE精密勻膠機(jī)是一體加工成型的HDPE內(nèi)腔，耐腐蝕，易清潔；內(nèi)腔壁采用凹面設(shè)計，有效防濺；高級PLC全自動程序控制，可編程；
產(chǎn)品型號：HC160PE廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家 更新時間：2024-03-04訪 問 量：1153 產(chǎn)品分類
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產(chǎn)品特色
? 設(shè)計緊湊，可放置在手套箱內(nèi)；
? 4.3英寸彩色觸屏控制，人機(jī)界面；
? 一體加工成型的HDPE內(nèi)腔，耐腐蝕，易清潔；內(nèi)腔壁采用凹面設(shè)計，有效防濺；
? 高級PLC全自動程序控制，可編程；
? 帶真空度安全互鎖檢測功能；帶蓋子安全互鎖檢測功能；
? 具有電機(jī)進(jìn)膠保護(hù)功能；管路易疏通設(shè)計；具有真空不足提示及保護(hù)功能，具有斷電后參數(shù)自動保存功能。
? 不銹鋼外殼，美觀耐腐蝕；
? 帶一路自動點(diǎn)膠接口，可升級自動點(diǎn)膠系統(tǒng)；
? 可設(shè)置用戶密碼保護(hù)功能；
? 配置可調(diào)基座，方便調(diào)節(jié)水平；
性能參數(shù)
? 適用晶元尺寸范圍：?5~160mm；
? 旋涂速度：100~12000rpm；轉(zhuǎn)速分辨率：1rpm；
? 旋涂加速度：100-30000rpm/s；
? 最大旋涂時間：3000s；旋涂時間精度：0.1s；
? 內(nèi)腔直徑220mm，內(nèi)腔壁采用凹面防濺設(shè)計；
? 具備單步快速旋涂和多步編程旋涂，可編程100組程序，每組程序10步；
? 電源輸入：AC200-230V；
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